Электронный каталог

Статья

Ву, Ш.
Сканирующая микроволновая микроскопия: уникальный метод измерения в нанодиапазоне / Ву Ш. // Наноиндустрия. – 2014. – №3. – С.34-39. - 294289. – На рус. яз.

Разработка компанией Agilent Technologies нового измерительного метода - сканирующей микроволновой микросокопии (СММ), объединяющей широкие возможности измерений электрических величин микроволновым векторным анализом цепей с наноразмерным пространственным разрешением атомно-силового микроскопа. Установка и использование СММ. СММ-отображение легированной структуры полупроводниковых устройств, сильнолегированных маркерных слоев GaN на сапфире. Дополнительные возможности СММ в сочетании универсальности и точности измерений, делающие СММ исключительно перспективным методом в разных областях исследований.


Ключевые слова = ЗАРУБЕЖНЫЕ СТРАНЫ
Ключевые слова = ЗАРУБЕЖНЫЙ ОПЫТ
Ключевые слова = ИНОСТРАННАЯ ОРГАНИЗАЦИЯ (КОМПАНИЯ)
Ключевые слова = НАНОТЕХНОЛОГИИ
Ключевые слова = ИЗМЕРЕНИЕ
Ключевые слова = ТЕХНИКА. ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ В ОТРАСЛЯХ ПРОМЫШЛЕННОСТИ
Ключевые слова = ЭКОНОМИЧЕСКАЯ ОЦЕНКА
Ключевые слова = ЭКОНОМИЧЕСКИЕ ПОКАЗАТЕЛИ
Ключевые слова = СТАТИСТИКА
Ключевые слова = МЕТОДИКА
Ключевые слова = АНАЛИЗ ОТРАСЛЕВОЙ
Ключевые слова = ЭКОНОМИЧЕСКИЙ АНАЛИЗ
Ключевые слова = ЭКОНОМИЧЕСКАЯ ЭФФЕКТИВНОСТЬ
Ключевые слова = ОБОРУДОВАНИЕ
Ключевые слова = НИОКР
Ключевые слова = НАНОИНДУСТРИЯ
Ключевые слова = ПОЛУПРОВОДНИКОВАЯ ПРОМЫШЛЕННОСТЬ
Ключевые слова = СКАНЕР