Электронный каталог

Статья

Метрологическое обеспечение измерений линейных размеров в нанометровом диапазоне // Наноиндустрия. – 2012. – №1. – С.48-52. - 122083. – На рус. яз.

Рассмотрение задачи обеспечения прослеживаемости измерений линейных размеров в нанометровом диапазоне сканирующей зондовой микроскопией (СЗМ) к первичному эталону метра. Описание конструктивных особенностей и технических характеристик сканирующего зондового микроскопа "НаноСкан-3Di" с интегрированным трехкоординатным лазерным гетеродинным интерферометром. Особенности применения сверхострых алмазных наконечников для получения профиля поверхности методами СЗМ в сравнении с стандартными кремниевыми кантилеверами.


Ключевые слова = ИЗМЕРИТЕЛЬНАЯ ТЕХНИКА
Ключевые слова = ПРИБОРОСТРОЕНИЕ
Ключевые слова = КОНСТРУКЦИЯ
Ключевые слова = НАНОТЕХНОЛОГИИ
Ключевые слова = ИЗМЕРЕНИЕ
Ключевые слова = ЛАЗЕРНАЯ ТЕХНИКА
Ключевые слова = ТЕХНИЧЕСКИЕ СРЕДСТВА
Ключевые слова = ОРГАНИЗАЦИЯ И УПРАВЛЕНИЕ ПРОИЗВОДСТВОМ. МЕНЕДЖМЕНТ. МАРКЕТИНГ
Ключевые слова = НАУЧНО-ТЕХНИЧЕСКАЯ ПОЛИТИКА. ИННОВАЦИОННАЯ ДЕЯТЕЛЬНОСТЬ
Ключевые слова = РОССИЯ
Ключевые слова = МЕТОДИКА
Ключевые слова = МЕТРОЛОГИЯ
Ключевые слова = ОБЕСПЕЧЕНИЕ
Ключевые слова = НАЦИОНАЛЬНЫЙ СТАНДАРТ
Ключевые слова = СКАНЕР