Электронный каталог

Статья

Контроль микроразмеров в производстве ИС: задачи и особенности // Электроника: наука, технология, бизнес. – 2011. – 2011 №3. – С.96-103. - 114473. – На рус. яз.

Фотолитография - ключевой технологический процесс в производстве полупроводниковых приборов и микросхем. Суть процесса - в переносе оригинала топологии интегральной схемы на поверхность полупроводниковой кремниевой пластины. Контроль критических размеров на пластинах и фотошаблонах. Обеспечение единства измерений.


Ключевые слова = ПОЛУПРОВОДНИК
Ключевые слова = ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЙ ПРОЦЕСС
Ключевые слова = ПРИБОРОСТРОЕНИЕ
Ключевые слова = ИЗМЕРЕНИЕ
Ключевые слова = КРИТИЧЕСКАЯ ТЕХНОЛОГИЯ
Ключевые слова = ФОТОЛИТОГРАФИЯ
Ключевые слова = ТЕХНИКА. ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ В ОТРАСЛЯХ ПРОМЫШЛЕННОСТИ
Ключевые слова = КОНТРОЛЬ
Ключевые слова = МЕТРОЛОГИЯ
Ключевые слова = МИКРОСХЕМА
Ключевые слова = КРЕМНИЙ