Электронный каталог

Статья

Шадская, Н.
Как сделать полупроводниковое производство безопасным и эффективным / Шадская Н. // Наноиндустрия. – 2011. – №2. – С.20-24. - 112032. – На рус. яз.

Вопросы обеспечения точных технологических параметров современного производства микроэлектроники. Обзор оборудования газораспределения "бизнес-класса" на производстве, обеспечивающего высокую подачу газов потребителю без снижения уровня его чистоты. Газовый кабинет и стойки. Модульный газовый кабинет. Распределительный модуль (valve maniford box - VMB). Трубопроводы. Система очистки выбросов. Автоматическая система управления газораспределением. Система контроля. Детекторы газа. Размещение оборудования на производстве.


Ключевые слова = ПОЛУПРОВОДНИК
Ключевые слова = ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЙ ПРОЦЕСС
Ключевые слова = АВТОМАТИЗИРОВАННЫЕ СИСТЕМЫ УПРАВЛЕНИЯ (АСУ)
Ключевые слова = ГАЗ
Ключевые слова = ГАЗОПРОВОД
Ключевые слова = ПРОИЗВОДСТВЕННАЯ БЕЗОПАСНОСТЬ
Ключевые слова = ТЕХНОЛОГИЧЕСКАЯ ЭФФЕКТИВНОСТЬ
Ключевые слова = ВЫБРОС
Ключевые слова = ОЧИСТКА
Ключевые слова = ИНФОРМАЦИОННО-КОММУНИКАЦИОННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ. КОМПЬЮТЕРНЫЙ МИР
Ключевые слова = ТЕХНИКА. ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ В ОТРАСЛЯХ ПРОМЫШЛЕННОСТИ
Ключевые слова = ПРОИЗВОДСТВО
Ключевые слова = РОССИЯ
Ключевые слова = РАСПРЕДЕЛЕНИЕ
Ключевые слова = ПОТРЕБИТЕЛИ
Ключевые слова = ОБОРУДОВАНИЕ
Ключевые слова = ОБЕСПЕЧЕНИЕ
Ключевые слова = СИСТЕМА РЕГУЛИРОВАНИЯ
Ключевые слова = СИСТЕМА КОНТРОЛЯ
Ключевые слова = МИКРОЭЛЕКТРОНИКА
Ключевые слова = МОДУЛЬ
Ключевые слова = ПОЛУПРОВОДНИКОВАЯ ПРОМЫШЛЕННОСТЬ