Электронный каталог

Статья

Герасименко, Н.
Новые рентгеновские измерительные системы с микрофокусными источниками для диагностики твердотельных микро- и наноструктур / Герасименко Н., Смирнов Д., Турьянский А. // Наноиндустрия. – 2015. – №2. – С.58-69. - 405409. – На рус. яз.

Оригинальные подходы к развитию и созданию новых измерительных системы, рассмотренные в ключе подходов к решению проблемы импортозамещения сложных средств диагностики и контроля продукции и процессов высокотехнологичных производств, в первую очередь, микро- и наноэлектроники, ядерной энергетики, космической и оборонной техники. Принципы построения новой рентгеновской аналитической системы. Измерение многослойных тонкопленочных наноструктур. Конкурентные преимущества представленных технологий. Перспективы импортозамещения.


Ключевые слова = ВЫСОКАЯ ТЕХНОЛОГИЧНОСТЬ
Ключевые слова = ДИАГНОСТИКА
Ключевые слова = ИЗМЕРИТЕЛЬНАЯ ТЕХНИКА
Ключевые слова = ИМПОРТОЗАМЕЩЕНИЕ
Ключевые слова = КОММЕРЦИАЛИЗАЦИЯ
Ключевые слова = КОНТРОЛЬ
Ключевые слова = НАНОТЕХНОЛОГИИ
Ключевые слова = ПРОДУКЦИЯ
Ключевые слова = ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЙ ПРОЦЕСС
Ключевые слова = ТЕХНОЛОГИЯ
Ключевые слова = ТЕХНИКА. ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ В ОТРАСЛЯХ ПРОМЫШЛЕННОСТИ