Электронный каталог

Статья

Веселов, А.
Оборудование для синтеза сверхтонких пленок по технологии атомного-слоевого осаждения / Веселов А. // Наноиндустрия. – 2015. – №7. – С.72-80. - 414658. – На рус. яз.

Разработки в области атомно-слоевого осаждения (АСО), имеющие длительную историю, начиная с 1950-х годов, когда впервые данный метод был упомянут в работах проф. В.Б. Алексаковского (СССР), и запатентован в 1974 году в Финляндии доктором Т. Сунтолой. Сравнение АСО с другими технологиями синтеза пленок. Характеристика основных достоинств технологии АСО. Основные области применения пленок АСО. Оборудование АСО, выпускаемое компанией Picosan, являющейся технологическим лидером в данной области. Результаты, полученные пользователями оборудования PICOSAN P-серии для пленок АСО.


Ключевые слова = ПАТЕНТ
Ключевые слова = ИННОВАЦИИ
Ключевые слова = ПРИБОРОСТРОЕНИЕ
Ключевые слова = НАНОТЕХНОЛОГИИ
Ключевые слова = ИСПОЛЬЗОВАНИЕ
Ключевые слова = МАТЕРИАЛ
Ключевые слова = ТЕХНИКА. ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ В ОТРАСЛЯХ ПРОМЫШЛЕННОСТИ
Ключевые слова = СССР
Ключевые слова = ТЕХНОЛОГИЯ
Ключевые слова = ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ИННОВАЦИИ
Ключевые слова = ИССЛЕДОВАНИЯ
Ключевые слова = ОБОРУДОВАНИЕ
Ключевые слова = НИОКР
Ключевые слова = СИНТЕТИЧЕСКОЕ ВОЛОКНО
Ключевые слова = НАНОТРУБКИ