Электронный каталог

Статья

Макушин, М.
Интеллектуальные производства и технологии как условие решения проблем с оборудованием по мере масштабирования ИС / Макушин М. // Электроника: наука, технология, бизнес. – 2018. – №4. – С.132-142. - 511693. – На рус. яз.

Общие перспективы электронной промышленности. Интеллектуальное производство - ключ к цифровой трансформации. Цифровизация - критический фактор для производителей с точки зрения расширения клиентской базы, повышения производительности и создания новых возможностей получения дохода. Оборудование и проблемы выхода годных при масштабировании интегральных схем. Проблемы на уровне завода по обработке пластин, отличительная черта которых - высокая сложность. Проблемы инструментальных средств: дефекты, метрология, неисправности. Сотрудничество, стандарты и методики тестирования. Моделирование, прогнозирование, искусственный интеллект. Изменчивость параметров процесса и оборудования на 10 / 7-нм топологиях. Идея стабильной метрологии, её суть. Общая панорама мониторинга оборудования. Решение проблем изменчивости и разброса параметров, требующих использования новых подходов, основные из которых - активизация сотрудничества и стандартизация, моделирование, прогнозирование и искусственный интеллект.


Ключевые слова = ИНТЕЛЛЕКТУАЛЬНЫЕ СИСТЕМЫ
Ключевые слова = ИНТЕЛЛЕКТУАЛЬНЫЙ ПОТЕНЦИАЛ
Ключевые слова = ТЕСТ
Ключевые слова = ОРГАНИЗАЦИЯ И УПРАВЛЕНИЕ ПРОИЗВОДСТВОМ. МЕНЕДЖМЕНТ. МАРКЕТИНГ
Ключевые слова = СОТРУДНИЧЕСТВО
Ключевые слова = МЕТОДИКА
Ключевые слова = СТАНДАРТ
Ключевые слова = ПРОИЗВОДИТЕЛЬНОСТЬ
Ключевые слова = ИСКУССТВЕННЫЙ ИНТЕЛЛЕКТ
Ключевые слова = ОБОРУДОВАНИЕ
Ключевые слова = МЕТРОЛОГИЯ
Ключевые слова = СТАНДАРТИЗАЦИЯ
Ключевые слова = ЦИФРОВЫЕ ТЕХНОЛОГИИ
Ключевые слова = ЭЛЕКТРОННАЯ ПРОМЫШЛЕННОСТЬ
Ключевые слова = ИНТЕГРАЛЬНАЯ СХЕМА
Ключевые слова = ПРОИЗВОДСТВО ИНТЕЛЛЕКТУАЛЬНОЕ