Электронный каталог

Статья

Макушин, М.
EUV-литография на пороге. Технологические и экономические аспекты освоения в производстве / Макушин М., Мартынов В. // Электроника: наука, технология, бизнес. – 2018. – №5. – С.108-116. - 513121. – На рус. яз.

Разработка технологии литографии на источнике излучения в наиболее коротковолновой части ультрафиолетовой области спектра с длиной излучения 13,5 нм более 20 лет. Большой интерес отрасли к EUV-литографии, объясняемые возможностью существенного сокращения количества этапов обработки пластин и времени цикла. Основные сведения о EUV-литографии, её современное состояние. Изготовление EUV-шаблонов. Совместное использование EUV и иммерсионной литографии. Проблемы объединения иммерсионных и EUV сканеров в рамках одной производственной линии.


Ключевые слова = ЭЛЕКТРОННЫЕ КОМПОНЕНТЫ
Ключевые слова = МАТЕРИАЛ
Ключевые слова = ФОТОЛИТОГРАФИЯ
Ключевые слова = ТЕХНИКА. ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ В ОТРАСЛЯХ ПРОМЫШЛЕННОСТИ
Ключевые слова = РОССИЯ
Ключевые слова = ТЕХНОЛОГИЯ
Ключевые слова = ЭЛЕКТРОНИКА
Ключевые слова = ЭЛЕКТРОННАЯ ПРОМЫШЛЕННОСТЬ
Ключевые слова = НОВАЯ ТЕХНИКА
Ключевые слова = СКАНЕР
Ключевые слова = ПЕЧАТНАЯ ЭЛЕКТРОНИКА
Ключевые слова = ПЕЧАТНАЯ ПРОДУКЦИЯ