Электронный каталог

Статья

Иванов, В.
Хлорирование в солевом расплаве в технологии производства поликристаллического кремний / Иванов В. // Электроника: наука, технология, бизнес. – 2019. – №6. – С.154-160. - 532586. – На рус. яз.

Решение проблемы рентабельности производства поликристаллического кремния - важнейший фактор развития современной электроники. Методы и материалы для получения поликристаллического кремния. Предложение по использованию в качестве исходного сырья материалы, содержащие диоксид кремния, для снижения себестоимости поликремния. Эти материалы подвергать хлорированию, а образующийся тетрахлорид кремния гидрировать до трихлорсилана, используемого при водородном восстановлении кремния. Оценка затрат на сырьевые материалы для традиционной и новой технологий производства поликристаллического кремния. Снижение затрат в сочетании с использованием современного оборудования и цифровых систем управления технологическими процессами даст возможность решить задачу по созданию конкурентоспособного производства полупроводникового кремния.


Ключевые слова = КРЕМНИЙ
Ключевые слова = ПОЛУПРОВОДНИКОВАЯ ПРОМЫШЛЕННОСТЬ
Ключевые слова = ПРОИЗВОДСТВЕННЫЙ ПРОЦЕСС
Ключевые слова = ПРОИЗВОДСТВО
Ключевые слова = РЕНТАБЕЛЬНОСТЬ
Ключевые слова = РОССИЯ
Ключевые слова = СЕБЕСТОИМОСТЬ
Ключевые слова = СЫРЬЕ
Ключевые слова = ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЙ ПРОЦЕСС
Ключевые слова = ЭЛЕКТРОНИКА
Ключевые слова = ТЕХНИКА. ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ В ОТРАСЛЯХ ПРОМЫШЛЕННОСТИ
Ключевые слова = ПРОИЗВОДСТВЕННАЯ ТЕХНОЛОГИЯ