Электронный каталог

Статья

Суханов, Д.
Гетерогенная интеграция с помощью групповой сварки кристалл-пластина - эффективный подход к 3D-интеграции микросхем / Суханов Д., Команов В. // Электроника: наука, технология, бизнес. – 2019. – №6. – С.162-167. - 532587. – На рус. яз.

До недавнего времени основной целью совершенствования микроэлектронных устройств было наращивание их возможностей в области хранения и обработки данных, достигавшихся за счет уменьшения топологических норм и увеличением плотности упаковки элементарных ячеек в монолитном кристалле микросхемы. В настоящее время на первый план выходят потребности таких областей применения электроники, как информационно-коммуникационные технологии, дополненная реальность, автономные транспортные средства, среды для обработки больших данных и т. п. Эти приложения требуют создания электронных компонентов нового типа, в которых акцент делается не на ёмкость памяти и скорость вычислений, а на расширение функционала единичной микросхемы. Такие устройства включают в себя материалы и структуры, которые невозможно или крайне проблематично объединить средствами обычных для сегодняшнего дня технологических процессов и установок. При этом не снимается традиционная задача ускорения циклов разработки и развертывания массового производства, что создает дополнительные проблемы, как для проектировщиков микросхем, так и для технологов, и для производителей оборудования. Очередная революция, произошедшая сегодня в полупроводниковой промышленности, - внедрение в практику разработки и производства микроэлектроники принципа гетерогенной интеграции, означающей вытеснение литографического масштабирования новыми типами и способами межсоединений и передовыми технологиями сборки микроэлектронных устройств. Групповая сварка кристалл-к-пластине. Некоторые существенные особенности отдельных процессов групповой сварки D2W. Подготовка промежуточного носителя. Заполнение носителя. Сварка пластина-к-пластине. Рекомендации по совмещению.


Ключевые слова = ЭЛЕКТРОННЫЕ КОМПОНЕНТЫ
Ключевые слова = ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЙ ПРОЦЕСС
Ключевые слова = ИНФОРМАЦИОННО-КОММУНИКАЦИОННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ (ИКТ)
Ключевые слова = ТЕХНИКА. ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ В ОТРАСЛЯХ ПРОМЫШЛЕННОСТИ
Ключевые слова = ПРОИЗВОДСТВЕННЫЙ ПРОЦЕСС
Ключевые слова = МИКРОЭЛЕКТРОНИКА
Ключевые слова = ЭЛЕКТРОНИКА
Ключевые слова = ЭЛЕКТРОННАЯ ПРОМЫШЛЕННОСТЬ
Ключевые слова = МИКРОСХЕМА
Ключевые слова = ПОЛУПРОВОДНИКОВАЯ ПРОМЫШЛЕННОСТЬ
Ключевые слова = ПРОИЗВОДСТВО СБОРОЧНОЕ
Ключевые слова = СВАРКА
Ключевые слова = ГЕТЕРОГЕННОСТЬ
Ключевые слова = БОЛЬШИЕ ДАННЫЕ
Ключевые слова = ДОПОЛНЕННАЯ РЕАЛЬНОСТЬ
Ключевые слова = БЕСПИЛОТНЫЙ ТРАНСПОРТ
Ключевые слова = ПРОИЗВОДСТВЕННАЯ ТЕХНОЛОГИЯ