Электронный каталог

Статья

Разработка однокристальных МЭМС гироскопов и акселерометров для систем навигации // Радиоэлектронные технологии (электронная версия). – 2019. – №3. – С.65-70. - 534014. – На рус. яз.

Одно из направлений развития систем ориентации, стабилизации, управления движением и навигации малогабаритных роботизированных средств - применение в них технологий микроэлектромеханических систем (МЭМС). Спрос на устройства, созданные по МЭМС-технологиям, связанный с их основными достоинствами: многофункциональность, малое энергопотребление, надежность, массогабаритные характеристики и низкая стоимость. Важное преимущество МЭМС - совместимость их технологии производства с процессами, применяемыми при производстве интегральных микросхем. Особенности комплексной технологии и производства линейки микро- и наномеханических гироскоповакселерометров и инерциальных блоков на их основе, разработанных в Научно-образовательном центре "Нанотехнологии" Южного федерального университета (НОЦ "Нанотехнологии" ЮФУ) на основе запатентованных решений и использования собственной технологической базы. Применение разработанных в НОЦ "Нанотехнологии" ЮФУ интегральных многоосевых гироскопов и акселерометров позволит улучшить массогабаритные характеристики систем, построенных на их основе, повысить степень интеграции микроэлектронных и микросистемных устройств, их конкурентоспособность, расширить сферы их применения и провести импортозамещение.


Ключевые слова = ИМПОРТОЗАМЕЩЕНИЕ
Ключевые слова = КОНКУРЕНТОСПОСОБНОСТЬ (339)
Ключевые слова = МИКРОМЕХАНИКА
Ключевые слова = МИКРОСХЕМА
Ключевые слова = МИКРОЭЛЕКТРОНИКА
Ключевые слова = НАВИГАЦИОННАЯ СИСТЕМА
Ключевые слова = НАДЕЖНОСТЬ
Ключевые слова = НАНОТЕХНОЛОГИИ
Ключевые слова = НАУКА
Ключевые слова = НАУЧНО-ПРОИЗВОДСТВЕННАЯ СИСТЕМА (НПС)
Ключевые слова = НИОКР
Ключевые слова = ОБРАЗОВАНИЕ ВЫСШЕЕ
Ключевые слова = ПРОИЗВОДСТВО
Ключевые слова = РОБОТОТЕХНИКА
Ключевые слова = РОССИЯ
Ключевые слова = СИСТЕМА УПРАВЛЕНИЯ
Ключевые слова = СТАБИЛИЗАЦИЯ
Ключевые слова = СТОИМОСТЬ
Ключевые слова = ТЕХНИЧЕСКИЕ СРЕДСТВА
Ключевые слова = ТЕХНОЛОГИЯ
Ключевые слова = УНИВЕРСИТЕТ
Ключевые слова = ЭНЕРГОПОТРЕБЛЕНИЕ
Ключевые слова = ЭКОНОМИКА ПРОМЫШЛЕННОСТИ, ТРАНСПОРТА И СВЯЗИ
Ключевые слова = ИНФОРМАЦИОННО-КОММУНИКАЦИОННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ. КОМПЬЮТЕРНЫЙ МИР