Электронный каталог

Статья

Макушин, М.
Освоение EUV-литографии в серийном производстве: перспективы и проблемы / Макушин М., Мартынов В. // Электроника: наука, технология, бизнес. – 2019. – №9. – С.70-79. - 536588. – На рус. яз.

Проблемы освоения EUV-литографии в серийном производстве ИС. Увеличение яркости источника излучения и оптики. EUV-шаблоны. Резисты, дефекты и формирование рисунка. Управление дефектами технологичности. Пострезистная обработка и перенос рисунка. Вопросы однократного и многократного EUV-формирования рисунка. Варианты многократного формирования рисунка. Платформенный подход к мониторингу работоспособности EUV-систем.


Ключевые слова = ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЙ ПРОЦЕСС
Ключевые слова = ТЕХНОЛОГИЧЕСКАЯ ПОЛИТИКА
Ключевые слова = АНАЛИЗ СЦЕНАРНЫЙ
Ключевые слова = АНАЛИЗ ТЕХНИЧЕСКИЙ
Ключевые слова = УПРАВЛЕНИЕ
Ключевые слова = ТЕХНОЛОГИЧЕСКАЯ СИСТЕМА
Ключевые слова = ТЕХНИЧЕСКАЯ СИСТЕМА
Ключевые слова = ТЕХНИЧЕСКАЯ ДЕЯТЕЛЬНОСТЬ
Ключевые слова = СЦЕНАРНОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ
Ключевые слова = ТЕХНИКА. ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ В ОТРАСЛЯХ ПРОМЫШЛЕННОСТИ
Ключевые слова = АНАЛИЗ ФАКТОРНЫЙ
Ключевые слова = ЭКОНОМИЧЕСКАЯ ЦЕЛЕСООБРАЗНОСТЬ
Ключевые слова = ЭКОНОМИЧЕСКАЯ ОЦЕНКА
Ключевые слова = ЭКОНОМИЧЕСКИЕ ПОКАЗАТЕЛИ
Ключевые слова = МОНИТОРИНГ
Ключевые слова = ТЕХНОЛОГИЯ
Ключевые слова = АНАЛИЗ ОТРАСЛЕВОЙ
Ключевые слова = АНАЛИЗ ПРИКЛАДНОЙ
Ключевые слова = ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ИННОВАЦИИ
Ключевые слова = ЭКОНОМИЧЕСКИЙ АНАЛИЗ
Ключевые слова = ТЕХНИКО-ЭКОНОМИЧЕСКАЯ ОЦЕНКА
Ключевые слова = ЭКОНОМИЧЕСКАЯ ЭФФЕКТИВНОСТЬ
Ключевые слова = ТЕХНИЧЕСКОЕ РАЗВИТИЕ
Ключевые слова = ДЕФЕКТ