Электронный каталог

Статья

Адамова, А.
Прецизионный сенсор давления на базе монокристаллического кремния / Адамова А., Цивинская Т. // Электроника: наука, технология, бизнес. – 2020. – №9. – С.104-109. - 552613. – На рус. яз.

Иногда те свойства, которые в теории определяют целевые установки микроэлектронного устройства, одновременно являются труднопреодолимым препятствием для обеспечения его точной и устойчивой работа. Поиск и нахождение решений, позволяющих довести разработку до уровня готовности к практическому применению и серийному производству. Пример успешного выхода из подобной ситуации - история разработки малогабаритного датчика давления на основе монокристаллического кремния, проводившейся в интересах развития испытательной базы Центрального аэрогидродинамического института (ЦАГИ). Перечень требований ЦАГИ к конструкции датчика давления. Достоинства разработки.


Ключевые слова = НАНОТЕХНОЛОГИИ
Ключевые слова = ТЕХНИКА. ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ В ОТРАСЛЯХ ПРОМЫШЛЕННОСТИ
Ключевые слова = АВИАЦИОННАЯ ТЕХНИКА
Ключевые слова = МИКРОЭЛЕКТРОНИКА
Ключевые слова = ДАТЧИК
Ключевые слова = КРЕМНИЙ
Ключевые слова = ПРОИЗВОДСТВО СЕРИЙНОЕ