Электронный каталог

Статья

Скупов, А.
Сварка полупроводниковых пластин через полимеры / Скупов А. // Электроника: наука, технология, бизнес. – 2020. – №9. – С.158-162. - 552620. – На рус. яз.

Широкая перспектива для разработчиков, открываемая технологиями 2,5D и 3D-интеграции, связанная с увеличением степени интеграции изделий микроэлектроники, их функционала, быстродействия и энергоэффективности. Основные методы сварки пластин. Общая характеристика предлагаемого метода, его преимущества. Свойства полимеров для сварки. Выбор материала. Технологические свойства фоточувствительных диэлектриков, пригодных для сварки через полимеры. Технологический маршрут сварки пластин через полимеры.


Ключевые слова = ПОЛУПРОВОДНИК
Ключевые слова = ПОЛИМЕРНЫЕ МАТЕРИАЛЫ
Ключевые слова = ТЕХНИКА. ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ В ОТРАСЛЯХ ПРОМЫШЛЕННОСТИ
Ключевые слова = ТЕХНОЛОГИЯ
Ключевые слова = МИКРОЭЛЕКТРОНИКА
Ключевые слова = СВАРКА
Ключевые слова = ПРОИЗВОДСТВЕННАЯ ТЕХНОЛОГИЯ