Электронный каталог

Статья

Суханов, Д.
Оптимизация гальванических процессов в современном полупроводниковом производстве: ч. 1-2 / Суханов Д. // Электроника: наука, технология, бизнес (электронная версия). – 2021. – №9. – С.86-93; № 10. - С.152-157. - 572122. – На рус. яз.

Основные принципы и способы оптимизации процессов электрохимического осаждения (ECD - electrochemical deposition), или гальванических процессов. Фундаментальное понимание основной электролитической ячейки, обеспечивающей основу для более глубокого изучения процессов нанесения покрытий в полупроводниковой промышленности. Как выглядит современный реактор для электролитических процессов на полупроводниковом производстве. Связь между силой тока и размерами элементов, на которые необходимо осадить металлическую пленку. Как добиться требуемой равномерности покрытия. Профиль электрического поля - параллельность и радиальная симметрия. Распределение тока через пластину. Современный реактор. Профиль электрического поля в современном реакторе системы ECD. Доступность катионов. На что влияет концентрация катионов в объеме реактора. Доступность катионов в диффузионном слое. Диффузионный слой. Оценка важности движения и потока электролита. Движение пластины. Движение и поток электролита. Ограничение плотности тока и к чему это может привести. Типичные профили сканирования диаметра пластины, рекомендации по устранению проблем, которые могут быть обнаружены. Обеспечение однородности по пластине. Погружение. Расход химии и скорость вращения. Современная ECD-система для серийного производства RENA EPA.


Ключевые слова = АНАЛИЗ ТЕХНИЧЕСКИЙ
Ключевые слова = АНАЛИЗ ФАКТОРНЫЙ
Ключевые слова = АНАЛИЗ ОТРАСЛЕВОЙ
Ключевые слова = ГАЛЬВАНОТЕХНИКА
Ключевые слова = ОПТИМИЗАЦИЯ
Ключевые слова = ПОЛУПРОВОДНИКОВАЯ ПРОМЫШЛЕННОСТЬ
Ключевые слова = ПРОИЗВОДСТВЕННЫЙ ПРОЦЕСС
Ключевые слова = РОССИЯ
Ключевые слова = ТЕХНИЧЕСКИЕ СРЕДСТВА
Ключевые слова = ТЕХНИЧЕСКОЕ ОСНАЩЕНИЕ
Ключевые слова = ТЕХНИЧЕСКОЕ РЕШЕНИЕ
Ключевые слова = ЭЛЕКТРОИЗОЛЯЦИОННЫЙ МАТЕРИАЛ
Ключевые слова = ЭЛЕКТРОЛИЗЕР
Ключевые слова = ЭЛЕКТРОХИМИЯ
Ключевые слова = ТЕХНИКА. ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ В ОТРАСЛЯХ ПРОМЫШЛЕННОСТИ
Ключевые слова = Статьи из периодических изданий. 2022 год.