Электронный каталог

Статья

Набокова, Е.
Струи в вакууме - решение для микроэлектроники / Набокова Е. // Электроника: наука, технология, бизнес (электронная версия). – 2022. – №7. – С.134-138. - 586144. – На рус. яз.

Установка струйной отмывки в вакууме УСОТП 1, разработанная НПП "ПРОТОН", предназначена для технологической обработки (отмывки, ополаскивания, сушки) полупроводниковых пластин, с использованием уникальной российской технологии - "Струи в вакууме". Гидравлическая схема установки УСОТП 1. Технические характеристики УСОТП 1. Функциональные возможности установки. Конструктивные особенности.


Ключевые слова = ПОЛУПРОВОДНИК
Ключевые слова = НАУЧНО-ТЕХНИЧЕСКАЯ ДЕЯТЕЛЬНОСТЬ
Ключевые слова = МИКРОЭЛЕКТРОНИКА
Ключевые слова = ТЕХНИКО-ЭКОНОМИЧЕСКАЯ ОЦЕНКА
Ключевые слова = ТЕХНИКА. ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ В ОТРАСЛЯХ ПРОМЫШЛЕННОСТИ
Ключевые слова = Статьи из периодических изданий. 2022 год.