Электронный каталог

Статья

Махаринец, А.
Электролитическое анодирование кремния, карбида и нитрида кремния для целей нанотехнологии (обзор) / Махаринец А., Милешко Л. // Электроника: наука, технология, бизнес (электронная версия). – 2023. – №2. – С.88-90. - 595026. – На рус. яз.

Применение в электронике анодных оксидных пленок (АОП) нанометровой толщины - научное направление, способное успешно развиваться в будущем. Анализ технологий формирования нанометровых АОП методом электролитического анодирования кремния, карбида и нитрида кремния, примеры использования таких технологий в микро- и наноэлектронике. Технологические возможности процессов диффузионного легирования кремния с применением АОП в качестве твердого диффузанта, открывающие перспективы упрощения технологии изготовления ряда современных полупроводниковых приборов, в том числе кремниевых микросхем на взаимодополняющих МОП-транзисторах (КМОПИС) и многодиодных матриц.


Ключевые слова = ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЙ ПРОЦЕСС
Ключевые слова = ТЕХНИКА. ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ В ОТРАСЛЯХ ПРОМЫШЛЕННОСТИ
Ключевые слова = ТЕХНОЛОГИЯ
Ключевые слова = МИКРОЭЛЕКТРОНИКА
Ключевые слова = МИКРОСХЕМА
Ключевые слова = КРЕМНИЙ
Ключевые слова = НАНОЭЛЕКТРОНИКА
Ключевые слова = НАНОМЕТР
Ключевые слова = ПОЛУПРОВОДНИК
Ключевые слова = НАНОТЕХНОЛОГИИ
Ключевые слова = Статьи из периодических изданий. 2023 год.