Электронный каталог

Статья

Оборудование для микроэлектроники // Промышленный еженедельник (электронная версия). – 2023. – №18. – С.6. - 598224. – На рус. яз.

Посещение заместителем председателя Правительства - Министром промышленности и торговли Денисом Мантуровым совместно с президентом Российской академии наук академиком РАН Геннадием Красниковым Научно-исследовательского института точного машиностроения (НИИТМ) и Научно-исследовательского института молекулярной электроники (НИИМЭ) в Зеленограде. Осмотр специального технологического оборудования атомарно-слоевого осаждения разработки НИИТМ, которое используется при создании технологии производства сегнетоэлектрической энергонезависимой памяти, и отечественных установок плазмохимического травления для топологических норм 180-90 нм. Знакомство с уникальной физико-химической аналитической лабораторией НИИМЭ для проведения исследований в области контроля качества технологических сред (жидкие среды, химреактивы). В мире действуют единицы подобных лабораторий, в Европе - не более трёх. Лаборатория занимается сертифицированием материалов, носящих общеотраслевой стратегический характер и необходимых для организации производства в микроэлектронной, фармацевтической, химической, биотехнологической и других отраслях промышленности, составлением технических требований и рекомендаций к их использованию, разрабатывает уникальные методики их аттестации.


Ключевые слова = ЭКОНОМИКА ПРОМЫШЛЕННОСТИ, ТРАНСПОРТА И СВЯЗИ
Ключевые слова = РОССИЯ
Ключевые слова = МИНПРОМТОРГ РОССИИ
Ключевые слова = МИКРОЭЛЕКТРОНИКА
Ключевые слова = ЭЛЕКТРОНИКА
Ключевые слова = ЭЛЕКТРОННАЯ ПРОМЫШЛЕННОСТЬ
Ключевые слова = НИИ (НАУЧНО-ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ ИНСТИТУТ)
Ключевые слова = Статьи из периодических изданий. 2023 год.