Поиск :
Личный кабинет :
Электронный каталог: Шевакин, Ю.Ф. - Нанесение многокомпонентных покрытий методом магнетронного распыления
Шевакин, Ю.Ф. - Нанесение многокомпонентных покрытий методом магнетронного распыления
Нет экз.
Статья
Автор: Шевакин, Ю.Ф.
Цветные металлы: Нанесение многокомпонентных покрытий методом магнетронного распыления
б.г.
ISBN отсутствует
Автор: Шевакин, Ю.Ф.
Цветные металлы: Нанесение многокомпонентных покрытий методом магнетронного распыления
б.г.
ISBN отсутствует
Статья
Шевакин, Ю.Ф.
Нанесение многокомпонентных покрытий методом магнетронного распыления / Ю.Ф. Шевакин, Л.М. Островская, О.С. Серебрянникова // Цветные металлы. – 1982. – №7. – С. 63-67: ил. - Библиогр.: 5 назв.
Представлены варианты конструктивного исполнения распыляемых мишеней и устройств магнетронного распыления. Преимущества метода по сравнению с другими способами испарения и конденсации в вакууме.
Ключевые слова = МАШИНОСТРОЕНИЕ
Ключевые слова = ПОКРЫТИЯ
Шевакин, Ю.Ф.
Нанесение многокомпонентных покрытий методом магнетронного распыления / Ю.Ф. Шевакин, Л.М. Островская, О.С. Серебрянникова // Цветные металлы. – 1982. – №7. – С. 63-67: ил. - Библиогр.: 5 назв.
Представлены варианты конструктивного исполнения распыляемых мишеней и устройств магнетронного распыления. Преимущества метода по сравнению с другими способами испарения и конденсации в вакууме.
Ключевые слова = МАШИНОСТРОЕНИЕ
Ключевые слова = ПОКРЫТИЯ