Электронный каталог

Статья

Качалин, Г.В.
Исследование характеристик титановых покрытий, полученных методом магнетронного распыления неохлаждаемой протяженной мишени / Г.В. Качалин, К.С. Медведев [и др.] // Упрочняющие технологии и покрытия. – 2024. – Т.20 № 12. – С. 557-560: ил. - Библиогр.: 12 назв.

Результаты исследований механических характеристик титановых покрытий, полученных на стальных образцах при различной мощности магнетронного разряда. Наилучшими свойствами обладают покрытия, полученные в диапазоне мощностей 7...10 кВт. Дальнейшее увеличение мощности приводит к снижению свойств покрытий, обусловленному увеличением в потоке доли испаренных атомов с низкой энергией.



Ключевые слова РП = защита металла
Ключевые слова РП = распыление магнетронное
Ключевые слова РП = мишень неохлаждаемая
Ключевые слова РП = характеристика покрытий
Ключевые слова РП = покрытие титановое
Ключевые слова РП = установка вакуумная